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精細加工和超精細加工技術綜述中國機械工程CHINAMECHANICALENGINEERING1999年第10卷第5期Vol中國機械工程CHINAMECHANICALENGINEERING1999年第10卷第5期Vol.10No.51999精細加工和超精細加工技術綜述王先逵吳丹劉成穎摘要闡述了精細加工和超精細加工技術的范疇、加工方法、系統(tǒng)構造及其在先進制造技術中的作用和地位；分析了21世紀初期對它的需求和技術發(fā)展趨勢，并提出了相應的技術發(fā)展前沿，歸總了技術發(fā)展特點。關鍵詞精細加工超精細加工先進制造技術機械制造中國圖書資料分類法分類號TH16

1ReviewofPrecisionandUltra-precisionMachiningTechnologyWangXiankui(TsinghuaUniversity,Beijing,China)WuDanLiuChengyingp570-576Abstract：Inthispapertherange,machiningmethodandsystemstructureoftheprecisionandultra-precisionmachiningtechnology,andtheactionandpositioninadvancedmanufacturingtechnologyarediscussed,itsrequirementintheearly21centuryisanalysed,theinterrelatedfronttechnologydevelopmentisadvancedandthefeatureoftechnologydevelopedisinduced.Keywords:precisionmachiningultraprecisionmachiningAMTmachinerymanufacturing收稿日期：1998—12—07從先進制造技術的本質(zhì)而論，主要有精細加工技術和超精細加工技術、制造自動化兩大領域［1］：前者包括精細加工、超精細加工、微細加工及納米加工，它追求加工上的精度和外表質(zhì)量的極限，可統(tǒng)稱為精細工程；后者包括設計、制造和管理的自動化，它不僅是快速響應市場需求、提高生產(chǎn)率、改善勞動條件的重要手段，而且是保證產(chǎn)品質(zhì)量、提高和穩(wěn)定加工質(zhì)量的有效舉措。

2兩者有密切聯(lián)絡，很多精細加工和超精細加工要靠自動化技術才能到達預期目的，而不少制造自動化有賴于精細加工才能得以準確實現(xiàn)。精細工程和制造自動化具有全局性的、決定性的作用，是先進制造技術的支柱。1精細加工和超精細加工的技術內(nèi)涵通常按加工精度劃分，可將機械加工分為一般加工、精細加工、超精細加工。由于生產(chǎn)技術的不斷發(fā)展，劃分的界線將隨著歷史進程而逐步向前推移，過去的精細加工對今天來講已經(jīng)是普通加工，因而，其劃分的界線是相對的，并且在詳細數(shù)值上至今沒有固定的界講。1.1精細加工和超精細加工的范疇當前，精細加工是指加工精度為1μm～0.1μm、外表粗糙度為0.1μm～0.025μm的加工技術；超精細加工是指加工精度高于0.1μm、外表粗糙度小于0.025μm的加工技術。因而，超精細加工又稱之為亞微米級加工。超精細加工已進入納米級精度階段，故出現(xiàn)了納米加工及其相應的納米技術。從精細加工和超精細加工的范疇來看，它應該包括微細加工、超微細加工、光整加工、精整加工等加工技術。微細加工技術是指制造微小尺寸零件的加工技術，

3超微細加工技術是指制造超微小尺寸零件的加工技術，它們是針對集成電路的制造要求提出的，由于尺寸微小，其精度是用尺寸額絕對值來表示，而不是像一般尺寸那樣，用所加工尺寸與尺寸誤差的比值來表示。光整加工一般是指降低外表粗糙度和提高外表層力學機械性質(zhì)的加工方法，不著重于加工精度的提高，其典型加工方法有珩磨、研磨、超精加工及無屑加工等。實際上，這些加工方法不僅能提高外表質(zhì)量，而且能夠提高加工精度。精整加工是近年來提出的一個新的名詞術語，它與光整加工是對應的，是指既要降低外表粗糙度和提高外表層力學機械性質(zhì)，同時又要提高加工精度的加工方法，可彌補光整加工的缺乏。1.2精細加工和超精細加工方法根據(jù)加工方法的機理和特點，精細加工和超精細加工方法能夠分為去除加工、結合加工和變形加工3大類，見表1。file:///E|/qk/zgjxgc/zgjx99/zgjx9905/990527.htm〔第1／7頁〕2020-3-2315:24:17