《《pecvd操作手冊》word版》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在教育資源-天天文庫。

1、操作手冊LPS1等離子體發(fā)射源生產(chǎn)商：Roth&RauAGGewerbering3D-09337Hohenstein-ErnstthalOTWuestenbrandGermany28目錄1安全指示……………………………………………………………………………………………31.1介紹……………………………………………………………………………………………31.2安全標(biāo)志………………………………………………………………………………………32描述…………………………………………………………………………………………………42.1概要…………………………………………………………………………………………

2、…42.2線型微波等離子體發(fā)射源類型……………………………………………………………52.3線型微波等離子體的產(chǎn)生………………………………………………………………………63技術(shù)數(shù)據(jù)……………………………………………………………………………………………93.1概要……………………………………………………………………………………………93.2性能……………………………………………………………………………………………103.3電氣數(shù)據(jù)………………………………………………………………………………………103.4連接……………………………………………………………………………………………103.4.

3、1氣體連接…………………………………………………………………………………103.4.2水路連接…………………………………………………………………………………104組裝…………………………………………………………………………………………………115設(shè)備維護(hù)……………………………………………………………………………………………125.1石英管的拆卸…………………………………………………………………………………135.2沉積罩的拆卸…………………………………………………………………………………155.3等離子體發(fā)射源的清洗………………………………………………………………………165.4沉積罩

4、的替換…………………………………………………………………………………175.5玻璃石英管的替換……………………………………………………………………………175.6安全性能………………………………………………………………………………………216備配件…………………………………………………………………………………………………226.1介紹……………………………………………………………………………………………226.2備配件清單………………………………………………………………………………………227推薦備配件……………………………………………………………………………………………2728配圖目

5、錄圖1：線型微波的圖解和部件圖……………………………………………………………………………4圖2：線型微波等離子體發(fā)射源的工作原理……………………………………………………………5圖3：配備一個石英管的LPS1型微波等離子體發(fā)射源的典型斷面圖…………………………………5圖4：線型微波等離子體產(chǎn)生的原理………………………………………………………………………6圖5：以時間為函數(shù)的典型的脈沖微波…………………………………………………………………7圖6：覆膜均勻性和沉積率的獨立控制效果示意圖………………………………………………………8圖7：SiNA型LPS1等離子體發(fā)射源的尺寸圖………………………

6、……………………………………9圖8：SiNA型LPS1線型等離子體發(fā)射源…………………………………………………………………11圖9：SiNA系統(tǒng)中整合的小型微波發(fā)射頭（MWhead）……………………………………………………13圖10：在工作位置和維護(hù)位置配有銅質(zhì)天線的小型微波發(fā)射頭………………………………………13圖11：完整的等離子體發(fā)射源（左圖）和沒有橫向沉積罩的等離子體發(fā)射源（右圖）………………14圖12：卡口鎖定機(jī)械裝置…………………………………………………………………………………14圖13：設(shè)備維護(hù)位置時的卡口鎖定機(jī)械裝置……………………………………………………………14圖1

7、4：防護(hù)罩固定器專用的特殊工具（左圖）設(shè)備維護(hù)和工藝操作時的位置………………………15圖15：關(guān)閉的氨氣吹淋噴頭孔（左圖）部分關(guān)閉的硅烷氣體吹淋噴頭孔（右圖）……………………16圖16：工藝反應(yīng)倉倉壁上的微波發(fā)射頭法蘭接口………………………………………………………16圖17：所有裝配部件的正確順序………………………………………………………………………17圖18：鋁質(zhì)罩帽中的裝配部件……………………………………………………………………………18圖